DP-Fsシリーズ

ノンメタル エア切替ダイアフラムポンプ+ハードシール

主要部材質も樹脂化した金属レスモデル。センターディスクレスのワンピースダイアフラム採用。万一、ワンピースダイアフラムが破損しても、金属イオン汚染を防止。腐食性雰囲気の中での運転も安心。CMPスラリー移送に最適。

エア切替バルブは、ノンメタル仕様のPEEKスプールを採用しています。

エア切替PEEKスプールについて>

ハードシールをデフォルト装備。
温度変化のある環境でも液漏れがしにくく安心です。

dp-fs

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