DP-FsEシリーズ

DP-Fsシリーズの光ファイバー式センサー切替モデル

DP-Fsシリーズに光ファイバー式センサーを内蔵し、防爆化したセンサー切替タイプのダイアフラムポンプ。

● 作動がより確実となり低ストローク時でも安定した性能を発揮
● PLCを使用して運転管理が行えます

fse-flow

光ファイバー式センサー切替について>

● ハードシールをデフォルト装備
温度変化のある環境でも液漏れがしにくく安心です。

主要部材質も樹脂化した金属レスモデル。センターディスクレスのワンピースダイアフラム採用。万一、ワンピースダイアフラムが破損しても、金属イオン汚染を防止。腐食性雰囲気の中での運転も安心。CMPスラリー移送に最適。

dp-fse

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